배트맨 토토 방출 테이프 Selfa ™
“Selfa ™”, 새로운 반도체 프로세스 활성화 High
열 저항 및 디번 딩 기술.
SELTA ™는 무엇입니까?
Selfa ™는 강력한 접착제와 쉬운 필링을 달성하는 UV 릴리스 테이프입니다. 배트맨 토토 조사에 의해, 테이프와 피사체 사이에 N2 가스가 생성되어 접착제 강도를 무효화하고 쉽게 벗겨 질 수 있습니다.
얇게 세련된 파도에 손상을 입히지 않고 쉽게 벗겨 질 수 있습니다.
배트맨 토토 ™는 언제 사용됩니까?
Selfa ™는 주로 반도체 파 및 칩 제조에 사용됩니다. 현재 토토 사이트는 패키지 제조, Waver 지원 및 도금 공정과 같은 다양한 프로세스를 위해 세 가지 유형의 제품 라인업을 제공합니다.
단면 및 양면 유형 모두 다른 응용 프로그램을 기반으로 사용할 수 있습니다.
SEKISUI 임시 채권 및 데 몬딩 테이프 SELTA ™
"Selfa ™"의 핵심 기술
높은 열 저항성 임시 결합 재료를 찾고 있습니다
열 저항성
- 업계 선도260 ° C 열 저항 사양
- 새로운 프로세스 구현 가능REFILOW
파도 손상에 대한 걱정
쉬운 필링
- 피해없는 필링
가스 생성 기술 - 높은 호환성Ultra-Thin Devices
열 공정 중에 거주지를 제거해야
낮은 잔류 물
- RESIDEUE-FREE전 UV 기술 사용
- wide프로세스 창
Selfa ™의 필링 오프 기술
배트맨 토토 ™의 필링 오프 데모 비디오
다른 회사의 제품에서 찾을 수없는 고급 기술을 찾을 수있어 섬세한 웨이퍼 표면을 손상시키지 않고 쉽게 벗길 수 있습니다.
2 단계 배트맨 토토 조사
1사전 배트맨 토토 경화
기존 배트맨 토토 테이프의 접착력 강도는 열처리 중에 증가하고 배트맨 토토 노출 후에 크게 감소하지 않아 껍질을 벗기기가 어렵게하여 거주 문제를 초래합니다.
Pre 배트맨 토토로 접착제 층을 경화 시켜서 Selfa ™는 열처리 후에도 급격히 상승하지 않을 접착제 강도를 크게 줄여서 훨씬 적은 힘으로 퇴직하기가 훨씬 쉬워집니다.
2가스 생성
배트맨 토토 조사 중에, 질소 가스는 SelfA ™와 유리 캐리어 사이에 생성됩니다. 가스 영역은 전체 표면에 넓어지고 때로는 퍼져 있습니다.
배트맨 토토 조사 후, 캐리어 유리는 거의 힘없이 쉽게 제거 할 수 있습니다.
SelfA ™와 액체 재료 간의 공정 비교
Selfa ™ 사용 라미네이션 및 필링 프로세스가 크게 단축됩니다.
액체
재료
배트맨 토토 ™
Sekisui제품 개발 이야기
진화를 계속 지원
반도체 프로세스의
혁신적인 기술
'접착력과 껍질' -
배트맨 토토 ™
UV 릴리스 테이프 "Selfa ™ 시리즈"지원 접착력, 껍질 및 반도체 프로세스의 진화 | 제품 범퍼카 토토 이야기
전 연구 개발 연구소의 전 이사 (2019 년 퇴직),
고성능 플라스틱 회사
과학 실험실 Ishizue의 현재 대표
Akira Nakasuga
전자 재료 개발 센터의 최고 엔지니어
연구 및 개발 연구소
고성능 플라스틱 회사
Toshio Takahashi
배트맨 토토 ™ 라인업
양면
열 저항성
배트맨 토토 ™ HW 시리즈
bg 〜다이 싱 프로세스
- 열과 화학 물질에 대한 높은 저항
- N2 가스 릴리스 디플 딩 메커니즘이 손상없는 데 딩딩을 초래합니다
- 테이프 타입 접착제 지원 유리 캐리어가 더 나은 핸들링 기능을 가능하게합니다
싱글 사이드
열 저항성
Selfa ™ HS 시리즈
화학 공정 중 장치 보호
열 프로세스 중에 warpage suppression
- 열과 화학 물질에 대한 높은 저항
- 높은 접착력, 저택
배트맨 토토 ™ 구조 및 속성
| 품목 및 조건 | HW 시리즈 | HS 시리즈 | MP 시리즈 | |
|---|---|---|---|---|
| 열 저항 | 260 ° C / Reflow | 250 ° C / Reflow | 80 ° C / 30 분 | |
| 220 ° C / 2HR | 220 ° C / 2HR | |||
| 접착력 강도 (N/inch) 초기 →전 배트맨 토토 이후 |
웨이퍼 측 | sus :10.5 → 0.01 | sus :3.83 → 0.08 | sus :17.5 → 0 |
| si :0.08 → 0.02 | si :0.06 → 0.02 | si :16.1 → 0 | ||
| - | Cu :4.51 → 0.10 | au :13.5 → 0 | ||
| 캐리어 측면 | 유리 :0.06 → <0.01 | - | - | |
응용 프로그램 예
CMOS 이미지 센서
- 배트맨 토토 ™ HW
TSV
- 배트맨 토토 ™ HW
- 배트맨 토토 ™ hs
EMI
- 배트맨 토토 ™ hs
pop
- 배트맨 토토 ™ HW
- 배트맨 토토 ™ hs
팬 아웃/내장 된 기판
- 배트맨 토토 ™ HW
- 배트맨 토토 ™ hs
- 배트맨 토토 ™ MP
전원 장치
- 배트맨 토토 ™ MP
양면 열 저항성
배트맨 토토 ™ HW 시리즈
특성 :
- 열 저항
- 화학 저항
- 낮은 잔류 물
- 쉬운 필링 오프
유리 캐리어를 지원하기 위해 테이프 타입 접착제 사용을 더 잘 처리 할 수 있습니다.
N2 가스 릴리스 디플 딩 메커니즘이 손상없는 디 번딩을 초래합니다.
열과 화학 물질에 대한 높은 저항.
프로세스
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평가 결과
i. BG 이후의 미러 웨이퍼 TTV 평가
평가 방법
TTV 매핑 결과
[평균]
두께 : 24.4μm/ TTV : 2.9μm
| n=1 | n=2 | n=3 | n=4 | n=5 |
|---|---|---|---|---|
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| THK : 25.1μm TTV : 3.4μm |
THK : 24.5μm TTV : 2.8μm |
THK : 24.7μm TTV : 2.9μm |
THK : 24.3μm TTV : 2.7μm |
thk : 23.4μm TTV : 2.9μm |
- 토토 사이트의 고유 한 "Preuv 기술"은 업계에서 최고 수준의 TTV 제어 성을 제공 할 수 있습니다.
- <3μm@12”웨이퍼
ⅱ. 열 과정 후 잔류 물 <오븐 및 평가 탈퇴>
포인트 :
- 열 저항성
- 장비 및 조건
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- Maker: etac
- 모델: CSO-603BF
- temp: 180-220 ° C
- 시간: 1-2hr
- 웨이퍼 및 샘플
-
8 인치 범프 TEG 웨이퍼
결과
| 180 ° C | 200 ° C | 220 ° C | |
|---|---|---|---|
| 1hr |  |
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| 2hr |  |
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220 ° C 2hr.의 열 응력 후 패턴 화 된 Teg Whafer에 거주지가 없습니다.
싱글 사이드 열 저항
Selfa ™ HS 시리즈
특성 :
- 열 저항
- 화학 저항
- 낮은 잔류 물
Reflow, CVD 및 Sputtering과 같은 열 프로세스 중에 장치를 지원하고 보호합니다.
프로세스
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열 저항 평가 (void)
핫 플레이트 평가
- 샘플
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- 장비 및 조건
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- Maker: NINOS
- 모델: ND-3H
- temp: 180-250 ° C
- 시간: 30-180min
결과
가열 후 필링 오프 능력
| 30min | 60min | 120min | 180min | |
|---|---|---|---|---|
| 180 ° C | OK | OK | OK | OK |
| 220 ° C | OK | OK | OK | OK |
| 250 ° C | OK | OK | OK | OK |
- 위에 표시된 데이터는 측정 값이며 값이 보장되지 않습니다.
가열 후 접착력 강도
가열 후 웨이퍼 상태
핫 플레이트 평가에서, 열처리 중에는 공허가 발생하지 않으며 껍질 중에는 180 분 동안 최대 220 ° C에서 껍질을 벗기는 동안 거주지가 생성되지 않음을 확인했습니다.
싱글 사이드 셀프 릴리스
배트맨 토토 ™ MP 시리즈
특성 :
- easy-peeling
배트맨 토토 ™ MP는 도금 공정 동안 파도의 뒷면을 보호하는 데 사용됩니다. 배트맨 토토 조사는 가스를 생성하여 피사체에서 쉽게 벗겨 질 수 있습니다.
전기 도금 처리 중 웨이퍼 보호 공정 (전기 도금 방법)
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배트맨 토토 ™ MP는 도금 과정에서 강산과 강한 알칼리에 대한 저항성이 뛰어나며, Waver를 보호 한 후에는 스트레스가 낮아서 벗겨 질 수 있습니다.
무효 및 잔류 물 결과
포인트 :
- easy-peeling
AU 도금 후 웨이퍼
공허 없음, 가장자리 박리 없음
유기 잔류 물 검사 @8 '웨이퍼
배트맨 토토 ™ MP를 벗기고 나서 거주지가 관찰되지 않았습니다.
양면 배트맨 토토 ™의 프로세스 자동화
완전 자동화 된 프로세스와 호환되어 생산성을 향상시키고 환경 영향을 줄이는 데 기여합니다.
장비 제조업체와 파트너 관계를 맺어 완전 자동화 장비를 구축 할 수 있습니다. 상당한 제품 개선 및 환경 영향 감소가 이루어질 수 있습니다.
장비 소개
- Wafer Bonder
- Takatori Corporation
WSM-200B
- Wafer Debonder
- Takatori Corporation
WSR-200
유리 캐리어 재사용
Selfa ™를 사용하여 유리 캐리어는 이전과 같이 두 번 이상 재사용 할 수 있으며 SDGS에게도 더 좋습니다.
캐리어 유리 재사용
Selfa ™는 배트맨 토토 조사 중에 손상을 일으키지 않으며 유리 운반체의 재활용 측면에서 우수합니다.
| 배트맨 토토 ™ | 액체 | |
| 재사용 시간 | 20 번 이상 | 10 번 이상 |
| 스트리핑 방법 | 배트맨 토토 램프 배트맨 토토 레이저 |
다양한 레이저 |
| 재사용 방법 | 용매 청소는 주류입니다 | 용매 청소, 연마 등 |
| 유리 손상 | 아니오 |
예 |
| 이유 |  배트맨 토토 램프 조사에 의한 상당한 손상 |
 레이저 절제로 인한 더 많은 손상 |
Sekisui제품 개발 이야기
진화를 계속 지원
반도체 프로세스의
혁신적인 기술
'접착력과 껍질' -
배트맨 토토 ™
UV 릴리스 테이프 "Selfa ™ 시리즈"지원 접착력, 껍질 및 반도체 프로세스의 진화 | 제품 범퍼카 토토 이야기
전 연구 개발 연구소의 전 이사 (2019 년 퇴직),
고성능 플라스틱 회사
과학 실험실 Ishizue의 현재 대표
Akira Nakasuga
전자 재료 개발 센터의 최고 엔지니어
연구 및 개발 연구소
고성능 플라스틱 회사
Toshio Takahashi