제품 개요
- 제품 이름
-
스포츠 토토 웨이퍼 외부 둘레
- 일반 이름
- EBR 장치
- 제품 변형
- Seberal Series
모델 : APR (RE01에서 모델 변경)
- 제품 사양
- ∎ φ5 ~ 12 "
・ Orifura와 호환
・ 유기 필름 EBR : 레이저 + 오존
・ 무기 필름 EBR : 스포츠 토토압 플라즈마 + 반응 가스
제품 설명
웨이퍼의 외부 둘레 만 마스크가없고 마른 에칭됩니다. 건조한 에칭 방법이지만 원격 혈장 스포츠 토토압을 사용하므로 필름 저하 또는 경화와 같은 혈장으로 인한 손상이 없습니다. 또한 마스크리스 드라이 에칭은 에칭 전후 청소가 필요하지 않으므로 운영 비용과 짧은 TAT가 매우 낮습니다. 이를 통해 웨이퍼의 외부 주변으로부터 입자를 방지하고, 필름 응력을 줄이고, EBR 이후 과정에서 혈장을 제어 할 수 있습니다.
비즈니스 부서는이 제품을 감독합니다
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